Од 7 нм плочица до напредног паковања, сваки нови чвор помера величине функција ка физичким границама и претвара „чишћење“-једном корак у позадини-у мисију на нанометарском- или чак ангстром-нивоу. Традиционални флуороугљеници (ЦФЦ-113, ПФЦ) нису-запаљиви и имају малу токсичност, али њихов профил оштећења озона- или високог ГВП-а довео је до глобалних забрана. У међувремену, водене хемије често остављају трагове воде, кородирају метале и троше велике количине енергије за сушење.Хидрофлуороетар (ХФЕ), који комбинује нулти ОДП, низак ГВП, незапаљивост и нула остатака, брзо је постао нови фаворит фаб инжењера и сада се сматра врхунском зеленом заменом за високо{1}}прецизно чишћење.
1. Зашто ХФЕ растварач флуора може да поднесе чишћење полупроводника
Молекуларни инжењеринг пружа уравнотежене перформансе
Етар кисеоник је закључан у угљеничном скелету, а преостале валенције су затворене водоником, чувајући хемијску инертност и низак поларитет флуороугљеника док се смањује утицај стаклене баште и токсичност. Узимајући уобичајени ХФЕ-347 (Ц₃Х₃Ф₇О) као пример:
Тачка кључања 56,2 степена; висок притисак паре на собној температури за брзо сушење-без воде-без трагова
Површински напон само 16,4 мН м⁻¹, продире у ровове од 10 нм и „подиже“ честице и фрагменте фотоотпорника
Диелектрична чврстоћа 40 кВ, омогућава чишћење-алата под напоном без разградње оксида{2}}
Без тачке паљења, нулте границе експлозије, одмах снижавају опасност од пожара{0}}
Одлична компатибилност материјала
Нема корозије на Цу, Ал, Ти, Та, Ни, СнАг лемовима, Ниско-к диелектрицима, ПИ, ЛЦП, ФР-4; висока селективност на структуре ПР, БАРЦ, СиО₂, Си₃Н₄-уређаја остају нетакнуте.
Регулаторно и ЕЦО{0}}прилагођено
ОДП=0, ГВП ≈ 540, животни век у атмосфери < 1 године, испуњавање ЕУ ВОЦ, РоХС, РЕАЦХ и кинеске мапе пута замене ОДС-. Потрошена течност се може дестиловати и рециклирати > 10 пута, смањујући укупне трошкове власништва (ТЦО) за 15–25%.
Одлична ефикасност чишћења специфичних загађивача
Иако нису универзални растварачи за све органске материје, ХФЕ су веома ефикасни за своје циљне примене:
Одлично за уклањање перфлуорираних мазива и масти: Они су растварач избора за уклањање мазива типа перфлуорополиетар (ПФПЕ) и Криток™{0}} који се користе у вакуумским заптивкама, вентилима и роботици у оквиру алата за производњу полупроводника.
Ефикасан на остатке флукса и јонске загађиваче: Када су формулисани са стабилизаторима или ко{0}}растварачима, они могу да уклоне флукс за лемљење и контаминацију честица без воде.
Прецизно сушење без остатка
ХФЕ имају јединствену комбинацију својстава која омогућавају савршено „сушење капљицама“:
Низак површински напон и висока способност квашења: продиру у замршене геометрије и испод ниско{0}}конструкција.
Висока волатилност: потпуно и брзо испаравају без остављања водених мрља или јонских остатака, што је критично за производњу високог{0}}приноса.
Ефикасност процеса и свестраност
ХФЕ омогућавају флексибилне и ефикасне методе чишћења:
Компатибилност за одмашћивање паром: Њихова испарљивост и стабилност чине их идеалним за модерне, затворене парне одмашћиваче, који су{0}}ефикасни у погледу растварача и пружају врхунско чишћење сложених делова.
Заједничко чишћење помоћу растварача: Азеотропне или не-азеотропне мешавине са алкохолима (као што је ИПА) или угљоводоницима могу прво да растворе поларне/органске загађиваче, које се затим испиру чистим ХФЕ, остављајући савршено суву површину-без талога.
Компатибилност са аутоматизацијом: Њихова својства омогућавају интеграцију у аутоматизоване системе за чишћење.
Предности безбедности радника
Ниска токсичност: Имају ниску акутну и хроничну токсичност, са високим границама изложености (обично високе граничне вредности - ТЛВ).
Пријатан мирис: За разлику од многих агресивних растварача, они су генерално благог-мириса, што побољшава прихватање на радном месту.
Не-Запаљивост: Елиминише опасности од пожара и експлозије повезане са растварачима као што су ИПА или ацетон у чишћењу на велико.
2. Три основне апликације у фабрикама полупроводника
А. Прецизно чишћење{1}}вафера
Након литографије, гравирања или имплантације остају органски остаци и метални јони < 10 нм. ХФЕ-ов ниски вискозитет плус висока пенетрација смањује-број честица у рову са > 500 еа цм⁻² на < 10 еа цм⁻² у року од 30 с; заједно са ултразвуком од 40 кХз или млазом, уклањање металних-јона (Цу²⁺, Фе³⁺) > 99,9%, дајући површину „атомске-скале“ за накнадни АЛД или ЦВД.
Б. Скидање фотоотпора и уклањање остатака -пепела
Конвенционални СПМ (Х₂СО₄/Х₂О₂) или уклањачи амина кородирају Цу/Лов-к; разблажени ХФЕ-базирани стрипер раствара КрФ, АрФ и ЕУВ потпуно отпоран на 60 степени за 5 минута без губитка на ТиН чврсте маске или Цу линије, већ квалификоване за чворове испод 14 нм.
Ц. Напредно паковање и чишћење микро-избочина
Након ТСВ или микро-формирања неравнина, флукс и ласерски-угљеник за бушење који остају у 5 µм слепим рупама узрокују недовољно{3}}празњење и хи-неуспешне грешке. ХФЕ азеотроп (ХФЕ + ко{7}}растварач + инхибитор корозије) прска на 25 степени у трајању од 2 минута, уклања > 98% остатака, 100% је компатибилан са ЕМЦ, ПИ и Цу стубовима и заменио је НМП и ацетон у ФЦ-БГА запреминским линијама.
3. Тржишни пејзаж и локализација Кине
Глобал: Породица 3М Новец и даље држи > 60% удела, годишња продаја ≈ 5 кт, приход ≈ 1,6 милијарди УСД; предвиђа се да ће достићи 2,3 милијарде долара до 2025.
Домаћи: Хаохуа, Цапцхем, Беијинг Иуји и Јухуа су разбили високу-чистоћу (већу или једнаку 99,999%) синтезу и дестилацију, прошли СМИЦ, ИМТЦ и ХиСилицон квалификације и сада нуде смањење-замена за 3М.
Оутлоок: Са 3Д НАНД, ГАА-ФЕТ и чиплет архитектурама које се шире, потражња за ниским-површинским-напонима, високо-чистачима са високом селективношћу расте > 20% годишње; ХФЕ, зрела замена за ОДС, наставиће да користи.
ХФЕ хидрофлуороетар није само „зелени слоган“. Његова прилагођена молекуларна структура је најбоља тачка између снаге чишћења, компатибилности материјала и утицаја на животну средину. Омогућава фабрикама да јуре Муров закон без трошкова озонског омотача или угљеника, а ОСАТ-овима даје универзални рецепт за „испирање-и-сув, без-остатка“ за све, од ситних избочина до масивних панела. С обзиром на то да се ХФЕ-произведен у Кини-високе чистоће сада повећава, зелена револуција у прецизном чишћењу је тек почела.
За предузећа која траже ХФЕ хидрофлуороетар, наша компанија обезбеђује конкурентне цене, поуздано снабдевање и техничку подршку. Контактирајте нас данас за више детаља!
