ФФКМ је заптивни материјал високих перформанси. Његове одличне перформансе омогућиле су његовој примени да продре у цео систем производње полупроводничких производа. Међу њима, ФФКМ заптивни прстенови су један од главних потрошних материјала потребних за производњу интегрисаних кола.
структуру и карактеристике перформанси ФФКМ
ФФКМ је кополимеризован тетрафлуороетиленом (ТФЕ), перфлуороалкил винил етром (ПАВЕ) као главним мономерима и малом количином мономера тачке очвршћавања (ЦСМ). Као што је приказано на слици испод, сви атоми угљеника у полимеру. Сви атоми водоника на гуми су замењени атомима флуора, што га чини гумом која уопште не садржи ЦХ везе.
Главне карактеристике перформанси ФФКМ-а:
1) Физичка својства
Густина ФФКМ је 1.9-2.0г/цм³. Његова механичка својства при нормалним температурама су блиска онима флуорокаучука (ФКМ) на бази винилиден флуорида (ВДФ), али су његова механичка својства при високим температурама боља од флуорокаучука.
2) Отпорност на хемикалије
У молекуларном ланцу ФФКМ нема атома водоника, а ЦЦ везе су у основи окружене љуском састављеном од Ф атома, показујући јаку хемијску инертност и чинећи полимер значајно отпорним на хемикалије.
3) Отпорност на високе и ниске температуре
Радна температура ФФКМ-а је углавном 260 ~ 290 степени и може се користити повремено на високим температурама од 316 степени. Пошто је велики број -ОЦФ3 група уведен у гране ланаца молекула, побољшана је флексибилност молекула и побољшана је отпорност гуме на ниске температуре.
4) Отпор плазме
У окружењу плазме, показује карактеристике производа високе чистоће и ниске количине падавина, и може издржати плазма бомбардовање дуго времена.
фФКМ-ове примене у полупроводницима
У производњи полупроводника, поузданост еластомерних заптивки је критична јер су обуставе производње ради замене заптивки изузетно скупе. Да би се избегли потенцијални ризици, захтеви за чистоћу и чистоћу печата су веома строги. Истовремено, заптивке морају бити у стању да раде дуго времена у окружењу под притиском високе температуре, високог вакуума и корозивних хемијских гасова.
У смислу полупроводничких апликација, ФФКМ се углавном фокусира на:
1) Гасни заптивач: У процесу производње полупроводника, обрада и транспорт различитих гасова су од суштинског значаја. ФФКМ О прстен се користи за заптивање гасовода, вентила и спојева како би се осигурало да гас не цури и одржава стабилност процеса.
2) Јеткање и чишћење: Кораци јеткања и чишћења у полупроводничким процесима често укључују употребу корозивних медија као што су јаке киселине или алкалије. ФФКМ О прстен се широко користи у деловима опреме који су у контакту са овим медијима, као што су коморе за нагризање, резервоари за чишћење итд. због њихове одличне отпорности на корозију.
3) Транспорт течности и хемикалија: У производњи полупроводника, разне течности и хемикалије треба да се транспортују, као што су раствори, растварачи, течности за чишћење, итд. ФФКМ О прстен се може користити за заптивање компоненти опреме као што су цеви, вентили и пумпе како би се обезбедило безбедну испоруку медија.
4) Високотемпературно окружење: Одређени кораци у процесу полупроводника треба да се изводе у окружењу високе температуре, као што је топлотна обрада, жарење, итд. ФФКМ О-прстенови имају одличну отпорност на високе температуре и могу да одрже своју еластичност и заптивање својства на високим температурама.
5) Третман ултра чисте воде: У производњи полупроводника ултрачиста вода се користи за чишћење и пречишћавање опреме и материјала. ФФКМ О-прстенови се широко користе за заптивање опреме за пречишћавање ултра чисте воде како би се спречио улазак нечистоћа и загађивача.
Због високе цене ФФКМ гумених сировина, услови рада у којима се обично користе ФФКМ заптивке су изузетно тешки. У овим тешким радним условима, друге гуме су склоне корозији, бубрењу, растварању, старењу и стврдњавању, итд., што доводи до квара заптивања и стога не може да испуни захтеве за заптивање. Због своје одличне отпорности на корозију и отпорности на високе температуре, ФФКМ гума не само да може да испуни захтеве за заптивање у тешким условима рада, већ и да продужи век трајања заптивки и смањи трошкове одржавања купаца.
